Skip to main content

Humord

Search from vocabulary

Content language

Concept information

Realfag > Naturvitenskap > Kjemi > Kjemiteknikk > Atomlagsdeponering

Preferred term

Atomlagsdeponering  

Type

  • Innholdsbeskrivende emne

Definition

  • Atomlagsdeponering er en spesiell kjemisk teknikk for å produsere veldig tynne filmer med høy konformitet og tykkelseskontroll. <Wikipedia>

Broader concept

Entry terms

  • ALD
  • Atomlagsdeponering

Identifier

  • HUME63082

Editorial note

  • Lukket bemerkning: ubo24

In other languages

URI

http://data.ub.uio.no/humord/c63082

Download this concept:

RDF/XML TURTLE JSON-LD Created 2/13/24, last modified 2/13/24