Begrepsinformasjon
Anbefalt term
Atomlagsdeponering
Type
-
Innholdsbeskrivende emne
Definisjon
- Atomlagsdeponering er en spesiell kjemisk teknikk for å produsere veldig tynne filmer med høy konformitet og tykkelseskontroll. <Wikipedia>
Overordnede begreper
Henvisningsterm
- ALD
- Atomlagsdeponering
Identifikator
- HUME63082
Redaksjonelle bemerkninger
- Lukket bemerkning: ubo24
På andre språk
-
engelsk
URI
http://data.ub.uio.no/humord/c63082
{{label}}
{{#each values }} {{! loop through ConceptPropertyValue objects }}
{{#if prefLabel }}
{{/if}}
{{/each}}
{{#if notation }}{{ notation }} {{/if}}{{ prefLabel }}
{{#ifDifferentLabelLang lang }} ({{ lang }}){{/ifDifferentLabelLang}}
{{#if vocabName }}
{{ vocabName }}
{{/if}}