Preferred term
Atomlagsdeponering
Type
- Innholdsbeskrivende emne
Definition
- Atomlagsdeponering er en spesiell kjemisk teknikk for å produsere veldig tynne filmer med høy konformitet og tykkelseskontroll. <Wikipedia>
Broader concept
Entry terms
- ALD
Identifier
- HUME63082
Editorial note
- Lukket bemerkning: ubo24
In other languages
English
Norwegian Nynorsk
URI
http://data.ub.uio.no/humord/c63082