Preferred term
Photolitography
Type
- Topic
Broader concept
Entry terms
- Microlithography
- Nanolitography
- Optical litography
- UV litography
Identifier
- HUME66802
In other languages
Norwegian Bokmål
- Fotolitografi
- Mikrolitografi
- Nanolitografi
- Optisk litografi
- UV-litografi
Norwegian Nynorsk
- Fotolitografi
- Mikrolitografi
- Nanolitografi
- Optisk litografi
- UV-litografi
URI
http://data.ub.uio.no/humord/c66802