Preferred term
Fotolitografi
Type
- Innholdsbeskrivende emne
Definition
- Fotolitografi er en prosess som brukes ved produksjon av integrerte kretser. Det innebærer å bruke lys for å overføre et mønster til et underlag, typisk en silisiumplate. Prosessen begynner med at et fotosensitivt materiale, kalt fotoresist, påføres underlaget. <wikipedia>
Broader concept
Entry terms
- Mikrolitografi
- Nanolitografi
- Optisk litografi
- UV-litografi
Identifier
- HUME66802
Editorial note
- Lukket bemerkning: ubo24
In other languages
English
- Photolitography
- Microlithography
- Nanolitography
- Optical litography
- UV litography
Norwegian Nynorsk
- Fotolitografi
- Mikrolitografi
- Nanolitografi
- Optisk litografi
- UV-litografi
URI
http://data.ub.uio.no/humord/c66802