Skip to main content

Humord

Search from vocabulary

Content language

Concept information

... > Ingeniørfag > Elektroteknikk > Elektronikk > Elektriske kretser > Integrerte kretser > Fotolitografi

Preferred term

Fotolitografi  

Type

  • Innholdsbeskrivende emne

Definition

  • Fotolitografi er en prosess som brukes ved produksjon av integrerte kretser. Det innebærer å bruke lys for å overføre et mønster til et underlag, typisk en silisiumplate. Prosessen begynner med at et fotosensitivt materiale, kalt fotoresist, påføres underlaget. <wikipedia>

Broader concept

Entry terms

  • Fotolitografi
  • Mikrolitografi
  • Nanolitografi
  • Optisk litografi
  • UV-litografi

Identifier

  • HUME66802

Editorial note

  • Lukket bemerkning: ubo24

In other languages

  • Photolitography

    English

  • Microlithography
  • Nanolitography
  • Optical litography
  • UV litography

URI

http://data.ub.uio.no/humord/c66802

Download this concept:

RDF/XML TURTLE JSON-LD Created 6/12/24, last modified 6/13/24