Humord

Preferred term

Sputtering

Type

  • Innholdsbeskrivende emne

Definition

  • I fysikk er sputtering en fenomen der mikroskopiske partikler av et fast materiale blir utkastet fra overflaten etter at materialet blir bombardert av energiske partikler fra en plasma eller gass. <wikipedia>

Broader concept

Related concepts

Entry terms

  • Sputterdeponering

Identifier

  • HUME67088

Editorial note

  • Lukket bemerkning: ubo24

In other languages

English

Norwegian Nynorsk

URI

http://data.ub.uio.no/humord/c67088

Download this concept