Preferred term
Fysisk dampdeponering
Type
- Innholdsbeskrivende emne
Definition
- Fysisk dampdeponering (PVD) er en samling av prosesser for å fremstille tynne filmer og belegg ved å kondensere damp på en overflate. Dette inkluderer metoder som sputtering og fordampning. <SNL>
Broader concept
Entry terms
- PVD
Identifier
- HUME70141
Editorial note
- Lukket bemerkning: ubo25
In other languages
English
Norwegian Nynorsk
URI
http://data.ub.uio.no/humord/c70141