Begrepsinformasjon
Anbefalt term
Fotolitografi
Type
-
Innholdsbeskrivende emne
Definisjon
- Fotolitografi er en prosess som brukes ved produksjon av integrerte kretser. Det innebærer å bruke lys for å overføre et mønster til et underlag, typisk en silisiumplate. Prosessen begynner med at et fotosensitivt materiale, kalt fotoresist, påføres underlaget. <wikipedia>
Overordnede begreper
Henvisningsterm
- Fotolitografi
- Mikrolitografi
- Nanolitografi
- Optisk litografi
- UV-litografi
Identifikator
- HUME66802
Redaksjonelle bemerkninger
- Lukket bemerkning: ubo24
På andre språk
-
engelsk
-
Microlithography
-
Nanolitography
-
Optical litography
-
UV litography
-
Mikrolitografi
norsk nynorsk
-
Nanolitografi
-
Optisk litografi
-
UV-litografi
URI
http://data.ub.uio.no/humord/c66802
{{label}}
{{#each values }} {{! loop through ConceptPropertyValue objects }}
{{#if prefLabel }}
{{/if}}
{{/each}}
{{#if notation }}{{ notation }} {{/if}}{{ prefLabel }}
{{#ifDifferentLabelLang lang }} ({{ lang }}){{/ifDifferentLabelLang}}
{{#if vocabName }}
{{ vocabName }}
{{/if}}