Tilrådd term
Atomlagsdeponering
Type
- Innholdsbeskrivende emne
Definisjon
- Atomlagsdeponering er en spesiell kjemisk teknikk for å produsere veldig tynne filmer med høy konformitet og tykkelseskontroll. <Wikipedia>
Overordna omgrep
Tilvisingsterm
- ALD
Identifikator
- HUME63082
Redaksjonelle merknadar
- Lukket bemerkning: ubo24
På andre språk
engelsk
norsk nynorsk
URI
http://data.ub.uio.no/humord/c63082