Tilrådd term
Mikro- og nanoelektromekaniske system
Type
- Innholdsbeskrivende emne
Overordna omgrep
Tilvisingsterm
- MEMS
- Microscopic electrical mechanical systems
- Mikroelektromekaniske system
- Mikrosystemteknologi
- Nanoelektromekaniske system
- NEMS
Identifikator
- HUME63933
På andre språk
engelsk
- Microelectromechanical systems
- Micro systems technology
- Micromachines
- Microscopic electrical mechanical systems
- Nanoelectromechanical systems
norsk bokmål
- Mikro- og nanoelektromekaniske systemer
- MEMS
- Microscopic electrical mechanical systems
- Mikroelektromekaniske systemer
- Mikrosystemteknologi
- Nanoelektromekaniske systemer
- NEMS
URI
http://data.ub.uio.no/humord/c63933