Topic
type: Class
label: Innholdsbeskrivende emne @nb

Humord
type: ConceptScheme

Integrated circuits
type: Topic
type: Concept
narrower: Photolitography
preferred label: Integrerte krinsar @nn
preferred label: Integrerte kretser @nb

Photolitography
type: Topic
type: Concept
created: 2024-06-12T00:00:00
modified: 2024-06-13T10:14:04
alternative label: UV-litografi @nn
alternative label: Nanolitografi @nn
alternative label: Mikrolitografi @nn
alternative label: Nanolitography
alternative label: Optical litography
alternative label: Optisk litografi @nn
alternative label: UV litography
alternative label: Microlithography
broader: Integrated circuits
definition: Fotolitografi er en prosess som brukes ved produksjon av integrerte kretser. Det innebærer å bruke lys for å overføre et mønster til et underlag, typisk en silisiumplate. Prosessen begynner med at et fotosensitivt materiale, kalt fotoresist, påføres underlaget. <wikipedia> @nb
editorial note: Lukket bemerkning: ubo24 @nb
in scheme: Humord
preferred label: Fotolitografi @nn